شركة Nanjing Arrow Chushi Industry and Trade Co. ، Ltd.

京东方(BOE)主要清洗环节维护商先导(光晋)

وقت الإصدار:

2024-07-29

حالة: 京东方(BOE) 主要清洗环节维护商先导(光晋)

1.1 مخطط عملية صناعة أشباه الموصلات

يجب أن تكون سطح الرقاقة نظيفًا قبل دخول كل عملية، ويجب أن تمر بخطوات تنظيف متكررة لإزالة الملوثات السطحية. يجب أن تتم صناعة الرقائق في غرفة نظيفة، وأي تلوث أثناء عملية التصنيع سيؤثر على الوظائف الطبيعية للأجهزة على الرقاقة. تشير الملوثات إلى أي مواد تؤثر على معدل إنتاج الرقائق وأداءها الكهربائي. تشمل الملوثات المحددة الجسيمات والمواد العضوية والمعادن وطبقات الأكسيد الطبيعية، وهذه الملوثات يمكن أن تأتي من البيئة أو عمليات التصنيع الأخرى أو نواتج الحفر أو سوائل الطحن. إذا لم يتم تنظيف هذه الملوثات في الوقت المناسب، فقد يؤدي ذلك إلى فشل العمليات اللاحقة، مما يؤدي إلى فشل كهربائي، وفي النهاية يؤدي إلى إتلاف الرقاقة.

عدد خطوات التنظيف هو أكبر عملية في خطوات تصنيع الرقائق، حيث يمثل حوالي 30% من جميع خطوات تصنيع الرقائق. مع تقدم تقنية تصنيع أشباه الموصلات، سيستمر عدد وأهمية خطوات التنظيف في الزيادة. عندما تدخل تقنية تصنيع الرقائق إلى 28 نانومتر و14 نانومتر ومستويات أكثر تقدمًا، ستزداد تعقيد العملية، مما يؤدي إلى انخفاض معدل الإنتاج. أحد أسباب هذه الظاهرة هو أن العمليات المتقدمة أكثر حساسية للملوثات، مما يجعل تنظيف الجسيمات الصغيرة أكثر صعوبة. الحل الرئيسي هو زيادة خطوات التنظيف. تحتاج كل رقاقة إلى أكثر من 200 خطوة تنظيف خلال عملية التصنيع، مما يجعل تنظيف الرقائق أكثر تعقيدًا وأهمية وتحديًا.

1.2 صورة مخطط عملية TFT وOLED

1.2.1 نظام الأدوات، أدوات القطع؛

1.2.2 أدوات الطحن؛

1.2.3 سلك نحاسي من الفوسفور؛ & الأدوات المقابلة؛

حالة: 京东方(BOE) 主要清洗环节维护商先导(光晋)

عملية تصنيع خلايا الصندوق

أجهزة التبخير: لا يمكن ترقية أجهزة التبخير من خلال تعديل أجهزة LCD، وهي الأجهزة الأكثر طلبًا والأكثر أهمية في المعدات الميكانيكية الحالية. يتكون النظام بالكامل من عدة غرف، ويكمل مجموعة كاملة من العمليات من تنظيف الركيزة، حقن طبقة الإضاءة، إلى تغليف الزجاج، مع تخصيص عالي. تحديات دقة المحاذاة وغازية التغليف هي تحديات في عملية المرحلة الأمامية. أجهزة التغليف: تنقسم بشكل رئيسي إلى تغليف زجاجي، تغليف معدني، وتغليف رقيق، والشركات الرئيسية تشمل شركة Tokki وشركة Zhouxing Engineering.

1.4 أجهزة الحفر: تتعلق أجهزة الحفر بعملية الحفر، حيث يتم حفر الفيلم تحت الرسومات غير المغطاة بالمقاوم الضوئي على الركيزة، تاركًا طبقة الفيلم بالشكل المطلوب. الشركات الرئيسية المنتجة تشمل شركة Toppan Printing (اليابان)، شركة Evatech (اليابان) وشركة STI. أجهزة الكشف: تستخدم عوامل الاختزال لإظهار الظلال التي تم تشكيلها على الفيلم أو القالب بعد التعرض. حاليًا، يتم احتكار معظم أجهزة التعرض في العالم من قبل كانون ونيكون اليابانيتين، حيث يصل سعر جهاز التعرض الواحد إلى 200 مليون يوان صيني. أجهزة إزالة الطلاء: بعد معالجة الحفر، تحتوي اللوحة على رسومات مصفوفة، وتقوم أجهزة إزالة الطلاء بإزالة بقايا المقاومة الضوئية، لتشكيل ركيزة TFT.

شركة Arrowstone Technology تتعاون مع 京东方(BOE) في خط TFT من الجيل السادس في هيفي، وخط الجيل 8.5، وخط الجيل 10.5؛

شركة Visionox في هيفي OLED G6، والمستقبل G8.6 لصنع معدات جديدة، أدوات، وخدمات تشغيل وصيانة؛

وأيضًا تقديم خدمات عملية مصفوفة TFT لشركات صناعة العرض المسطح ذات الصلة.

2. خطة المنتجات التعاونية

2.1 نظرة عامة على عملية تصنيع أدوات المعدات

المواد: 6061AL (بعضها أيضًا من الألمنيوم من الفئة 5 والفئة 7)

الأجهزة الرئيسية: نيووي (New way) PM2540HA

العمليات الرئيسية: الطحن، السنفرة، معالجة الثقوب؛

2.1.1 نظام الأدوات: شاك (Schuck) BT50 حامل أدوات هيدروليكي

2.1.2 أدوات القطع: YESTOOL الطحن (القطع الخشن، القطع الدقيق PCD)،

2.1.3 الحفر: YESTOOL أدوات غير قياسية

2.1.3 أدوات السنفرة: سنفور السطح للألمنيوم؛

FMM (قناع معدني دقيق)، يمكن أن تكون المواد الرئيسية إما معدنية أو معدنية + راتنج. يتم تصنيف FMM بناءً على شكل الفتحات، ويمكن تقسيم FMM إلى نوعين: Slot ونوع Slit. تعتبر قوالب FMM مادة لا غنى عنها في إنتاج الشاشات. يتم ترسيب طبقة الفيلم العضوي لـ OLED من خلال طريقة التبخير. لتشكيل ثلاثة بكسلات مختلفة: الأحمر والأخضر والأزرق، يجب ترسيب طبقة الإضاءة RGB بدقة على البكسلات المقابلة. على عكس الطبقات غير العضوية أو المعدنية، فإن مواد OLED حساسة جدًا للرطوبة، ولا يمكن تحقيق تشكيل الأنماط من خلال عملية الطباعة الضوئية التقليدية. لتحقيق ترسيب أشكال RGB بشكل منفصل، تم استخدام FMM في معدات التبخير في خطوط إنتاج OLED الحالية لتحقيق ترسيب طبقة الإضاءة RGB بشكل منفصل.

2.2 عملية صيانة أدوات المعدات (تنظيف + إعادة تصنيع)

2.2.1 إعادة تصنيع أدوات المعدات (خفض السطح الميكانيكي، إصلاح الخصائص)

2.2.2 استبدال وحدات أدوات المعدات (خيوط قابلة للفك)

للحصول على مزيد من المعلومات، يرجى الاتصال بالكاتب: 南京箭穿石杜工18265612588

الحالات ذات الصلة